多禾试验设备(上海)有限公司
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2006-09-20 点击量:
测控技术与仪器是研究信息的获取和处理,以及对相关要素进行控制的理论与技术;是电子、光学、精密机械、计算机、信息与控制技术多学科互相渗透而形成的一门高新技术密集型综合学科。
目前的发展状况:
(1)以自然基准溯源和传递,同时在不同量程实现国际比对。如果自己没有能力比对就要依靠其它国家。
(2)高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,并正向0.18μm过渡,2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。
(3)高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。
(4)高灵敏,高分辨,小型化。如将光谱仪集成到一块电路板上。
(5)标准化。通讯接口过去常用GPIB,RS232。现在,技术领先者设法控制技术标准,参与标准制订是仪器开发的基础研究工作之一。
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